无尘室操作时的一般规定：
1.处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用：
（1）任何一支镊子前端（即挟持芯片端）如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。
（2）芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，必须重新清洗。
（3）把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染，必须将芯片重新清洗，并立即更换干净的镊子使用。
2.芯片必须放置盒中，盖起来存放于规***置，尽可能不让它暴露。
3.避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，无尘室车间净化设计，在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮******喷之。
4.从铁弗龙（Teflon）晶舟，石英舟（QuartzBoat）等载具（Carrier）上，取出芯片时，安阳无尘室车间净化，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。
无尘车间的特点
1、无尘车间是空气洁净度达到一定水平，可用于人活动和生产的场所。它的作用是控制颗粒的污染。这说明，无尘车间的清洁不是一般的干净，而是达到了一定的空气清洁度水平。在我国行业，水平为30万，无尘室车间净化装修，净化车间必须具备控制颗粒污染、抵御外界干扰的能力。
2、无尘车间是一个多功能综合整休，体现在以下两个方面：
（1） 建筑、空调、净化、纯水、纯气等多个。
（2） 多参数：空气清洁度、***浓度和风量（风量）、压力（压力）、声音（噪声）、光（照明）。
3、对于无尘车间的质量，从重要性、设计、施工、运行管理等方面各占1/3，也就是说，无尘车间本身就是通过从设计到管理的全过程来体现其质量，这也符合GMP控制全过程的精神。
十万级无尘车间的监测
洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，无尘室车间净化施工，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
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