目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术，但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值，响应时间比较长，又缺乏灵活的控制算法，所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正，在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力，因而具有理想的隔振效果，正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。
控制温度变化：随着时间的延续，不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如，避免在平台下放置散热设备，光学面包板定制，隔绝热源设备和硬件，如光源、火焰等，尽可能将台面设计成对温度不敏感：良好的热传导性可起到作用，光学面包板尺寸定制，然而，光学面包板厂家，在极I端特殊的应用中，西安光学平板，选用不随温度变化而改变外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不胀钢，具有很小的热膨胀系数。一米长的超不胀钢在温度变化1K时膨胀长度约0.2微米。
光电仪器中的保护玻璃和分划板、制造集成电路的基片、平面显示器玻璃，都是属于一般精度要求的平板类平面光学零件，由于这类零件的需求量日益增大，使这类零件的双面加工技术逐渐发展成熟。
双面加工技术指同时对平板类光学零件的两个平面同步进行加工的技术。显然，这种两面同步加工的技术，比每个面分别单次加工的效率要高得多，但相应的设备要求和控制要求也要高得多。
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