福建金属真空镀膜-半导体微纳-金属真空镀膜厂家

金属真空镀膜MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，福建金属真空镀膜，以及行业应用技术开发。

哪些溅射靶材可用于热反射镀膜

银溅射靶材

银是一种柔软、有光泽的元素，属于元素周期表中金属的过渡族。它的熔点为 962 ℃，密度为 10.5 g/cc，在 1，105 ℃ 时的蒸气压为 10-4 Torr。自古以来，银就被用于无数产品中。它具有延展性、延展性，金属真空镀膜厂家，并且是所有金属中导电性强的。它被认为是一种，可以在珠宝、焊料、油漆和镜子中找到。它在真空下蒸发以生产半导体、传感器、燃料电池和光学涂层

镍溅射靶材

镍是一种银白色有光泽的金属，略带金色。广泛用于海绵镍和装饰涂料的生产。当在真空中蒸发时，镍可以在陶瓷表面或电路设备制造中形成焊料层。它经常被溅射以在磁存储介质、燃料电池和传感器中创建层。AEM 提供高纯度和细晶粒的镍溅射靶材。同等条件下，涂膜比同类产品更均匀，金属真空镀膜加工厂商，涂膜面积增加10%～20%。

铜溅射靶材

铜是一种延展性金属，具有非常高的导热性、导电性、延展性、耐腐蚀性。新暴露的纯铜表面呈红橙色。高纯铜在电子电气工业中用作各种线材、电子封装的键合线、音频线和集成电路、液晶显示器溅射靶材、离子镀等。它也是原子能、火箭、、航空、航天导航和冶金工业中不可缺少的宝贵材料。AEM根据要求提供高纯度OFC、白铜和合金产品。

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热反射镀膜玻璃又称阳光控制镀膜玻璃，俗称镀膜玻璃，是指具有反射太阳能功能的镀膜玻璃。一般通过在玻璃表面镀上金属或金属氧化膜，可以反射大量的太阳辐射和光线。

热反射玻璃

热反射玻璃具有良好的遮光和隔热性能。近年来，热反射镀膜玻璃已广泛应用于宾馆、饭店、商业场所。随着节能问题的日益突出，热反射玻璃也被应用于住宅建筑。

热反射汽车玻璃

热反射镀膜玻璃能有效反射太阳红外光（20-25%），阻隔热量进入车内（隔热性能>30%），降低空调负荷，保持良好的透光率（70- 75%），并保持清晰的视野。因此，热反射镀膜玻璃对溅射靶材的需求不断增加。

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上面关于磁控溅射镀膜机的设备尺寸以及应用场景已经介绍完成了，那么这种设备在镀膜的时候应该是如何操作的呢？具体操作方法如下：

（1）在操作的时候，样品基片的压力值保持处于：负偏压 -200V。

（2）样品转盘：在基片转盘上有滚筒式样品架，其中两个工位开孔安装加热炉。

样品除了公转外，在镀膜位置实现双平方向X轴移动。基片的温度从室温至300℃（样品上表面的温度，只需标定一次即可）连续可调可控，但两个加热器需保持不同时工作，每次只有一个工作（一台加热控温电源），在真空下可轮流互换工作。样品转盘由步进电机驱动，计算机控制其公转到位及样品自转；

（3）气路系统：质量流量控制器2路

（4）石英晶振膜厚控制仪的测量范围：0-999999，抽干空气可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统

（5）计算机控制系统的功能：对位移和样品公转速度随时间的变化做实时采集，金属真空镀膜平台，对位移误差进行计算，以曲线和数值显示。样品公转速度对位移曲线可在线性和对数标度两种显示之间切换，可实现换位镀膜。

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