云浮ULVACNRL60A干式真空泵修理-广州潽拓光电科技

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我国是世界很大的半导体消费市场，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵，长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题，公司积极响应***需求，承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，多项关键技术，于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵，打破国外产品垄断。

公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵，以其优越的性能，已广泛应用于工业过程、镀膜等领域，为半导体零部件国产化注入新活力。未来，公司将继续聚焦半导体产业发展需求，全力突破“卡脖子”技术难题，推动半导体设备零部件国产化，为中国集成电路发展持续贡献力量。

现今，越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十几年来，涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致严重沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.

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传统的动平衡技术通过增加额外的质量，例如动平衡配重块，来减少质量分布的不均匀。质量动平衡借助机械加工流程而得到广泛使用，其中包括诸如磨削以及通过钻孔去除材料等工艺。在传统的动平衡过程中，转子的径向偏移是在轴承附近的两个测量层测量的。转子的不平衡度利用一种特殊的算法来确定。为了降低总不平衡程度，转子沿旋转轴分成多个平衡等级，每个等级都有相应的孔。

动平衡配重块沿着各平衡等级的圆周手动拧入。这样就降低了质量分布的不均匀，转子的剩余不平衡度被减少到所需的极限值以下。这里的不平衡度将在多种速度下确定，并逐步完成补偿，从而降低转子的振动并达到额定速度。

近些年来，涡轮分子泵的应用场景越来越多，许多制造领域以前常用低温泵和扩散泵来作为超高真空泵，目前已多被涡轮分子泵所取代。此外，随着相关应用领域对工作环境的要求越发严苛，对涡轮分子泵也提出了更高要求，ULVACNRL60A干式真空泵修理，特别是在次级特性方面。因此，高速转子一直需要进一步开发，包括转子的使用寿命、振动水平（即泵壳上发出的声响和振动），以及基于部件表面脱气性能方面的洁净度指标。

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在润滑方面，配备一种新型润滑剂，具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性，进一步提升真空泵组的安全性能，而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线，客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商，产品玻璃触控模组，广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.

涡轮分子泵1500U技术参数

压缩比

Ar:>1X108

H2:6X103

He:2X105

N2:>1X108

抽速

Ar:1350l/s

H2:1150l/s

He:1350l/s

N2:1400l/s

进气口

DN250-ISO-K

极限真空重量

29KG

涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力，高工艺适用性，防止进入颗粒.集成驱动电路，适用于工业环境，通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200，通讯接口RS-485，远程遥控（Profibus/DeviceNet型号供选择），多种配件供客户选择.

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