半导体加工(图)-EBL微纳加工加工-山西EBL微纳加工

MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，EBL微纳加工加工，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工是国内需求逐步扩大的产业，这也代表着国内MEIMS行业需求的扩大。相对国外，我国的MEMS行业发展和起步较晚，新型领域的MEMS产品在度、时间、稳定性等方面相对国外会差很多。在国际上，尚未形成强大的市场竞争力和比较完善的产品系列，产品结构略显担单薄!所以，我国MEMS产业面临着诸多的挑战。

由于我国中的传感器都从给国外进口，EBL微纳加工外协，大部分芯片依赖国外。从MEMS产品的设计、制造和封装三个环节来看，山西EBL微纳加工，国内缺乏对MEMS相关关键技术的自主研发和产业化能力。早期选择国外的微纳加工工厂进行代工和研发。其他中小企业的设计则会选择和科研机构、科研院校合作，进行产品中试。在速度和进程上就会有所怠慢。同时，我们MEMS封装还没有形成系列和统一的接口。

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微成型模具是成型上述微制品的重要装备，其设计的合理性和加工质量直接决定了微制品的成型质量。

微纳制造的加工材料多种多样，相对金属材料与硅和玻璃等无机材料而言，聚合物基材廉价易得且具有更好的生物兼容性、电绝缘隔离性、热隔离性等性能。近年来，基于聚合物的微加工制造技术已成为微细加工中的又一研究热点。大量学者对基于聚合物的微加工技术如微***成型技术、微铸造技术及微压印技术进行了深入的研究。由于聚合物材料提供了相当普遍的物理及化学性质，同时具有成本低及适用于大批量制造等众多优点，EBL微纳加工制作，因而随着微纳米技术的不断发展，聚合物材料在光学、化学、生物及微机电领域中获得了越来越普遍的应用，不同微纳结构制品具有不同的性能与应用场合。

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微纳制造包括微制造和纳制造两个方面。

平台目前已配备各类微纳加工和表征测试设备70余台套，正在运行一条相对完整的微纳米加工工艺线，涵盖了图形发生、薄膜制备、材料刻蚀、键合封装、表征测试等常见的工艺段，可以进行常见微纳米结构和器件的加工，极限线宽达到10纳米，材料种类包括硅基、碳基、i金属、聚合物、化合物半导体、二维纳米等多种类型材料，可以有力支撑多学科领域的微纳米器件加工以及微纳米结构的表征测试需求，设备总值超过1亿元，整体设备工艺能力达到国内外***微纳加工的水平。

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