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电子气体中的金属杂质

电子气体中的金属杂质主要来源于：1) 生产环境和制造过程中引入的微量金属杂质；2) 气体运输和储存过程中机械带入的金属杂质；3) 使用过程中外界环境引入的金属污染。这些金属杂质在气体中主要以0.1~20 μm悬浮颗粒或小于0.1 μm的气溶胶形式存在。只有将气体中的颗粒通过分离进行排除，才能减少或消除金属杂质。然而，杂质捕获仪费用，目前一般的过滤器的孔径小为0.2 μm，无法完全消除金属杂质。因此，建立气体中痕量金属杂质的检测方法，对高纯气体的生产、储存和运输等均具有指导意义

电子气体中金属杂质的捕集

电子工业用气体统称电子气体，杂质捕获仪，指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体，是微纳电子制造***安全战略产业的关键支撑材料，其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业 [1] [2] [3]。表1为一些电子工业生产中所常用到的高纯气体 [3]。

近年来，杂质捕获仪哪家好，随着微纳电子***制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展，对电子气体的纯度和一致性要求越来越高，除了应具有5 N (99.999%)以上纯度，还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级，气体的品质要求高度稳定且一致。电子气体的纯度对于半导体器件的质量与成品率影响很大，尤其是气体中的金属杂质，杂质捕获仪价格，是使半导体产生漏电、晶格缺陷和断线的主要原因

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食品在加工过程中，有时会混入一些金属杂质(如螺钉、螺母、大头钉、订书钉、铁屑等)，由于这些金属杂质的存在，不仅会损坏机械设备，影响食品生产的质量，甚至会***于人们的健康。为确保食品的安全，必须予先将这些金属杂质检测出来。高灵敏度***具有这样的功能，能够自动探测糖果、饼干、面包等食品中是否混杂着金属杂质，当被检测食品放在传送带上，或某种运行的滑板上，通过探头时，若食品中含有0.0011克一。、.02克的金属杂质，便能产生信号，使继电器动作，发出告警信号，控制电机使传送带或成型机停下来，以实现探测过程的自动化。