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当封闭空间与排气口接通时，排气通道内的气体反冲至泵腔内，造成泵腔内的气体压力升高、温度升高，并带来气流噪声；随着泵的继续运转，封闭空间的体积开始逐渐变小，泵腔内的气体被不断地排出。
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随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，真空泵润滑油，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
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注意电动机负荷和泵的各部位温升情况，不可超过规定的高温度。运行时，不应有不规则的异常振动。如发现在运转中有电机过载，温升过高，声音异常，振动大等情况应立即停机检查原因。
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