




通讯方式的热式气体质量流量控制器
在直径较细的感应管中放置两对加热器,并将其控制在同一温度。当流体流动时,工业质量控制器,气体将上游的部分热量带给下游,工业质量控制器厂家,而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时,利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理,来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

气体质量流量控制器对于气体的要求
1,气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。
2,工业质量控制器公司,输入的气体压力必须符合产品的耐压标准,工业质量控制器报价, 不能超过该产品要求的较大压力。
3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,还容易产生***。

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