一般使用热板或烘箱来控制温度变化。光刻工艺中的坚膜工序。坚膜是在显影后以适当的温度烘干玻璃以除去水分并增强其聚合,提高强度的工艺,它增强了胶膜与玻璃的粘附性。在显影和烘焙之后就是要完成光刻掩膜工艺的质检。适当地来说应叫显影检验(develop inspect)或DI。在显影检验工艺,工程师有个判断工艺的性能机会。显影检验步骤的第二个重要性与在检验时作的拒收有关。
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***显影工艺及技术流程
1. 喷涂前清洗 + 等离子表面处理
虽然在前段已经过清洗,但喷涂前盖板表面的洁净度至关重要,故需再次进行清洗和表面处理。一般采用托盘装载方式清洗可以做到15~30片同时加工。
油墨 预固化
喷涂完成的盖板在高温烤箱进行烘烤,使表面油墨初步固化,提高附着力。
图形***方式
根据产品需要的图形制成配套的 MASK( 掩膜版 ) , MASK 与喷墨后的盖板紧密接触,通过***技术,使图形转印到玻璃之上。根据不同油墨的特性以及不同颜色油墨的遮蔽特点,重复以上制程。
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