随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化石英加速度计分为振梁式和摆式（即挠性），目前国内生产的都是石英挠性加速度计。系列产品广泛应用于惯性导航系统，捷联导航系统和飞行平台等运动物体的控制系统中，石英挠性加速度计原理，也可用于战斗车辆的火控系统及舰船的姿态控制系统中，已涵盖海、陆、空惯性导航领域；民用系列石英挠性加速度计原理产品广泛应用于石油油井随钻测斜和连续测斜，高层建筑测斜，大坝测斜等，还可用于悬浮物体的姿态控制。
石英挠性加速度计原理属于单轴重力加速度计，石英挠性加速度计是一种摆式加速度计，摆组件弹性的连接在石英晶体经过特殊加工形成的挠性支撑上，既消除了摩擦．同时引入了所需的弹性力矩。石英挠性加速度计是由表头和伺服电路组成，摆组件用两根挠性杆与仪表壳体连接。挠性杆绕输出轴的弯曲刚度很低，而其他方向的刚度很高。它的基本工作原理与液浮摆式加速度计类似。这种系统有一高增益的伺服放大器，使摆组件始终工作在零位附近。其特点是结构简单，体积小，精度和灵敏度高、可靠性高等。
石英加速度传感器是用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度传感器，且其结构与工艺与之野夫式的结果大大的简化了。目前这种石英挠性加速度传感器已广泛应用于各类现代惯性体系中。为了掌握加速度计内部温度场规律，得到内部的实时温度，建立石英挠性加速度计的热模型，进行热分析。根据仿模型设计温度试验，验证了模型的正确性。在加速度计稳定状态下，温度值与试验值差0.2℃左右;根据试验结果对结果进行修正，将修正后的结果与试验结果进行比较，得到两者的差值为-0.011℃，有效地提高了结果的准确性。因此，可以通过修正结果得到加速度计内部的实时温度。
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