





MEMS
MEMS振镜用于激光雷达系统,需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转MEMS振镜,采用简单易行的飞行时间(time of flight,TOF)的测距方法,测量了距离0.5m至80m的目标,车联网混合固态激光雷达,视场角30°,扫描频率550Hz。如图5所示,为进一步提高LiDAR光学口径,采用2×7的微振镜阵列,等效综合口径334mm,填充因子80%,其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波,接收端是大孔径的振镜组,扫描角度60°,车联网混合固态激光雷达厂家,扫描频率250Hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸,实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度,压电驱动MEMS的谐振频率在1kHz左右,100W的激光能量没有对MEMS镜面产生***。
MEMS激光雷达
微机电系统(MEMS)可达到一定的集成化要求,引起了人们的广泛关注。如图2所示,目前已逐渐商用的MEMS激光雷达是采用微振镜结构进行激光束偏转,微振镜需要具有平整的光学镜面,将机械式激光雷达的旋转部件微缩,增加集成度。
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激光雷达分类
激光雷达按工作方式可分为脉冲激光雷达和连续波激光雷达,根据探测技术的不同,可以分为:直接探测型激光雷达和相干探测型激光雷达,按应用范围可分为:靶场测量激光雷达火控激光雷达跟踪识别激光雷达(制导、预警、水下目标探测),广东混合固态激光雷达,激光雷达引导(航天器交汇对接、障碍物回避)、大气测量激光雷达(云层高度、大气能见度、风速、大气中物质的成分和含量)。激光雷达的主要应用于跟踪,成像制导,三维视觉系统,测风,大气环境监测,主动遥感等方向。
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