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如果在真空泵的维护过程中发现泵油被污染，则需要更换泵油；泵内滤油器堵塞，导致油路堵塞，压缩和喷射系统供油不足，导致泵体密封松动。此时，需要清洁内部机油滤清器。修理真空泵时，发现无法达到极限真空，这可能是由于配油阀变形、磨损或损坏或供油不足造成的。在这种情况下，检查并更换分油器阀门。

真空泵长期使用会导致转盘磨损或转簧张力不足，导致吸入室和排出室之间的隔离松动，导致真空泵的抽真空性能下降。

在每次试验结束之后都养将样品取出，然后清洁工作室内剩余的残留，避免影响到下次试验，也避免工作室内壁因为残留导致设备出现问题。

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就真空机组而言，当其气体含有蒸汽、颗粒及其腐蚀性气体时，需要考虑直接在我们泵的进气管道上安装辅助设备，实际上是冷凝器或除尘器等。