EBL微纳加工加工-半导体测试-安徽EBL微纳加工

MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

 微纳加工技术对现代的生活、生产产生了巨大的促进作用，EBL微纳加工厂商，并催生了一批新兴产业。

 掩模板是根据放大了的原图制备的带有透明窗口的模板。例如，可以用平整的玻璃板，涂覆上金属铬薄膜，通过类似照相制版的方法制备而成。具有微纳图形结构的掩模板通常使用电子束光刻机直接制备，其制作过程就是典型的光刻工艺过程，包括金属各层沉积、涂胶、电子束光刻、显影、铬层腐蚀及去胶等过程。由于模板像素超多，用扫描式光刻机制作掩模板的速度相当慢，造价十分昂贵。***光刻是图形形成的中心工艺过程，可分为正胶工艺和负胶工艺，采用相同掩模板制作时，二者可获得互补的图形结构。另外，按照不同工作距离可分为接近式***、近贴式***（接触***）和投射式光学***；按照***系统的工作光源又可分为紫外线***、X射线与及紫外线***、电子束与离子束***。此外，微纳印刷技术（，如纳米压印技术，在纳米结构及器件制作中也得到了良好的发展，其高i效的图形复i制特点使之在工业界***吸引力。卷对卷滚轴压印技术已经被产线普遍采用。

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机械微加工是微纳制造中较方便，也较接近传统材料加工方式的微成型技术。

微纳制造包括微制造和纳制造两个方面。

(1)微制造有两种不同的微制造工艺方式，一种是基于半导体制造工艺的光刻技术、LIGA技术、键合技术、封装技术等，安徽EBL微纳加工，这些工艺技术方法较为成熟，EBL微纳加工工厂，但普遍存在加工材料单一、加工设备昂贵等问题，且只能加工结构简单的二维或准三维微机械零件，无法进行复杂的三维微机械零件的加工；另一种是机械微加工，是指采用机械加工、特种加工及其他成形技术等传统加工技术形成的微加工技术，可进行三维复杂曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微细磨削、微细车削、微细铣削、微细钻削、压、微成形等。

(2)纳制造纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术，包括纳米压印技术、刻划技术、原子操纵技术等。

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干法刻蚀能够满足亚微米/纳米线宽制程技术的要求，且在微纳加工技术中被大量使用。

当前纳米制造技术在环境友好方面有望大展身手的一些领域：

1、蓄电：改进传统充电电池的效率，使之能用于运输领域来减少排放，或作为高i效可再生能源的备用能源。纳米技术有望用于开发超级电容器，为蓄电提供新的解决方案。

2、热电：新型纳米材料可将废热转化为电能，因而对于那些利用燃烧作为主要供能方式的领域（如混合动力汽车）来说，这将较大促进节能。

3、燃料电池：作为可持续氢经济的组成部分或者是基于燃料电池的高i效的碳氢化合物，在减少汽车尾气排放方面都大有潜力可挖，抑或作为热电联产电站，来降低排放。

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