对于维修厂家在维修中不但要更需要在厂家库存一些经常会用到的爱德华真空泵维修配件，例如刮片、碳精片、滑片、旋片、石墨片、过滤芯、空滤、风隔等等，这样在维修的过程中便可以快速的对爱德华真空泵产品进行修复。
凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用过程中导致贵司的真空泵故障和异常，爱发科真空泵维修厂，我司将免费负责处理和维修，并免费提供机器给客户备用，以确保客户正常生产。
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，爱发科真空泵维修哪家好，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项，希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项：
1、将多级泵运到现场，找平顶座时不必卸下水泵和电机；
2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上，在地脚螺钉附近垫上楔形铁，将顶座垫下约20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥浆之用；
3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度，爱发科真空泵维修中心，找平先用水泥浆填充顶座，肇庆爱发科真空泵维修，待水泥浆做先再检查一下水平度；
应用
半导体的目标应用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括：
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔
主要特性和优势
针对***的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。
符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。
肇庆爱发科真空泵维修-东欧真空泵现货供应由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司实力不俗，信誉可靠，在广东 东莞 的真空泵等行业积累了大批忠诚的客户。东欧真空带着精益求精的工作态度和不断的完善创新理念和您携手步入辉煌，共创美好未来！
