




半导体膜厚检测仪———广州景颐光电科技有限公司是一家专门做膜厚仪的厂家
影响涂层膜厚仪测量精度的因素
表面粗糙度
基体金属何覆盖层的表面粗糙度对测量有影响。粗糙度增大,半导体膜厚检测仪价位,影响增大。粗糙表面会引起系统误差何偶然误差。
每次测量时,在不同位置上应增加测量的次数,以克服这种偶然误差。如果基体金属粗糙,还必须在未的粗糙度相类似的基体金属试件上取几个位置校对仪器的零点;或用没有腐蚀性的溶液除去基体金属覆盖层,再校对仪器的零点。
磁场
周围各种电气设备所产生的强磁场,会严重地干扰磁性法测量厚度的工作。
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涂层膜厚仪特性:
1)搭载微聚焦加强型X射线发生器和***的光路转换聚焦系统;
2)拥有无损变焦检测技术,手动变焦功能,台州半导体膜厚检测仪,可对各种异形凹槽件进行无损检测,凹槽深度范围0-30mm;
3)EFP算法,可对多层多元素,包括同种元素在不同层都可快、准、稳的做出数据分析(钕铁硼磁铁上Ni/Cu/Ni/FeNdB,检测层Ni和第三层Ni的厚度);
4)配备高精密微型移动滑轨,可实现多点位、多样品的位移和同时检测;
5)可同时分析23个镀层,24种元素,测量元素范围:氯Cl(17)- 铀U(92),涂镀层分析范围:锂Li(3)- 铀U(92),涂镀层检出限:0.005μm;
6)人性化封闭软件,半导体膜厚检测仪批发,自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作;
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涂层膜厚仪标准片选择与使用
使用可靠的参考标准块校准仪器。测量不确定度直接取决于校准标准块的测量不确定度和测量精度。
参考标准块应具有的已知单位面积质量或厚度的均匀的覆盖层,如果是合金,半导体膜厚检测仪厂家,则应知其组成。参考标准块的有效或限定表面的任何位置的覆盖层不能超过规定值的±5%。
只要用于相同的组成和同样或已知密度的覆盖层,规定以厚度为单位(而不是单位面积质量)的标准块,将是可靠的。合金组成的测定,校准标准不需要相同,但应当已知。
金属箔标准片。如果使用金属箔贴在特殊基体表面作标准片,就必须注意确保接触清洁,无皱折纽结。任何密度差异,除非测量允许,否则必须进行补偿后再测。
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台州半导体膜厚检测仪-半导体膜厚检测仪厂家-景颐光电由广州景颐光电科技有限公司提供。广州景颐光电科技有限公司在光学仪器这一领域倾注了诸多的热忱和热情,景颐光电一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创辉煌。相关业务欢迎垂询,联系人:蔡晓东。