真空泵过滤器有称作真空泵油雾过滤器滤芯，是为了维护真空泵的效高的正常运转，延长真空泵使用寿命而设计的零部件，对真空泵起到了很好的保护作用，一般情况下真空泵同时需要有三种过滤形式。
进气口空气过滤：将吸入气体中的固体颗粒拦截下来。并通过对较大杂质、粉尘颗粒的拦截，极大程度地减轻后端两层次过滤的压力，减少真空泵运行中的机械磨损，延长真空泵的使用寿命。
将真空系统物料处理后，更换了被腐蚀的管道，再开启真空泵后，真空系统***正常。真空泵温度正常，而且开启2台泵时真空度仅仅升高1%，可以排除真空泵故障，这时很有可能是真空系统有漏点。由于真空状态下漏点不易检查出来，须停运真空泵，向系统充气加压试漏。幸运的是这次漏点在液相部分，若在气相部分，就须给系统加压试漏。
由于真空系统为腐蚀性的物料，真空系统某一点被腐蚀后，漏点会越来越大，大气由漏点进入真空系统***真空，真空泵负荷越来越高，即真空泵回流阀开度越来越小，直到完全关闭，致使真空度越来越低，影响生产。
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