MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
未来几年微纳制造系统和平台的发展前景包括的方面：（1）微纳制造系统的设计、建模和；
微纳加工技术具有高精度、科技含量高、产品附加值高等特点，能突显一个***工业发展水平，在推动科技进步、促进产业发展、提升生活品质等方面都发挥着重要作用。广东省科学院半导体研究所微纳加工平台，是国内少数拥有完整半导体工艺链的研究平台之一，可进行镀膜、光刻、刻蚀等工艺，加工尺寸覆盖2-6英寸。微纳加工平台将面向国内研机构和企业提供较全的开放服务，对半导体材料与器件的深入研发给予较全支持，能够为广大科研单位和企业提供服务。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳加工设备主要有：光刻、刻蚀、成膜、离子注入、晶圆键合等。
目前微纳制造领域较常用的一种微细加工技术是LIGA。这项技术由于可加工尺寸小、精度高，适合加工半导体材料，因而在半导体产业中得到普遍的应用，其较基础的中心技术是光刻，即***和刻蚀工艺。随着LIGA技术的发展，人们开发出了比较多种不同的***、刻蚀工艺，以满足不同精度尺寸、生产效率等的需求。LIGA技术经过多年的发展，广州微纳加工定制，工艺已经相当成熟，但是这项技术的基本原理决定了它必然会存在的一些缺陷，比如工艺过程复杂、制备环境要求高（比如需要净化间等）、设备投入大、生产成本高等。
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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，光电器件微纳加工定制，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，镀膜微纳加工定制，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
对于企业来说，选择微纳加工可以缓解企业暂时没有研发设备、材料和大量资金进行运作;或者说产品的周期比较短却需要快速扩大规模，这时微纳加工就是不错的选择。这样的企业、科研机构或者高校，可以选择两种微纳加工模式︰
1.外包给纯微纳加工公司;或者外包MEMS制造和设计给微纳加工公司。
2.外包部分。企业自己设计，电子束***微纳加工定制，微纳加工公司进行执行。企业需要微纳加工公司进行设计支持，也可提供知识产权等。
微纳加工模式的好处在于:相比企业投入大量的设备和资金，微纳加工只需投入少量的研发费用，就能获得同样的结果，是新型公司的选择。
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半导体材料(图)-光电器件微纳加工定制-广州微纳加工定制由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支高素质的员工***，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。半导体研究所——您可信赖的朋友，公司地址：广州市天河区长兴路363号，联系人：曾经理。