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满足系统出水溶解氧<5ppb的要求。3.2.4.2TO去除器TOC去除器的主要功能是利用185μm 波长紫外线将水光解成氢氧根离子和氢离子,高纯水设备价格,氢氧根离子能氧化和裂解有机物,高纯水设备供应商,使其被氧化形成碳酸氢根离子后,被后续混床去除。TOC去除器出力23.0m3/h,TOC可减少到5ppb以下。3.2.4.3抛光混床设置抛光混床是为了进一步去除超纯水循环系统中可能引入的微量离子,保证出水电阻率 > 18.1MΩ.cm,以满足用户要求。抛光混床内装填的树脂为超纯水级树脂,失效后无需再生,直接更换。

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