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机械微加工是微纳制造中较方便,也较接近传统材料加工方式的微成型技术。
微纳制造包括微制造和纳制造两个方面。
(1)微制造有两种不同的微制造工艺方式,一种是基于半导体制造工艺的光刻技术、LIGA技术、键合技术、封装技术等,这些工艺技术方法较为成熟,但普遍存在加工材料单一、加工设备昂贵等问题,且只能加工结构简单的二维或准三维微机械零件,无法进行复杂的三维微机械零件的加工;另一种是机械微加工,是指采用机械加工、特种加工及其他成形技术等传统加工技术形成的微加工技术,可进行三维复杂曲面零件的加工,加工材料不受限制,包括微细磨削、微细车削、微细铣削、微细钻削、压、微成形等。
(2)纳制造纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术,包括纳米压印技术、刻划技术、原子操纵技术等。
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对于依靠微纳加工做科研的高校、科研机构、公司来说,微纳加工就显得格外重要。MEMS产品/实验项目,从一开始的设计到后的落地,不仅需要自己的科研人员有可行的开发经验,对于微纳加工公司也应具整套加工工艺,且工艺团队应该具有10-20年的工艺经验。保障实验产品的质量,为科研助力。
的微的加工企业为科研、高校提供基础保障,从而可以出产品,更有量产的可能。对于大型MEMS公司来说,产品、可靠的质星和稳定的产能是他们稳步前进的基石。无论是高校、科研还是MEMS公司,拥有成熟的工艺体系是笑傲江湖的资本。

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干法刻蚀能够满足亚微米/纳米线宽制程技术的要求,且在微纳加工技术中被大量使用。
当前纳米制造技术在环境友好方面有望大展身手的一些领域:
1、蓄电:改进传统充电电池的效率,使之能用于运输领域来减少排放,或作为高i效可再生能源的备用能源。纳米技术有望用于开发超级电容器,为蓄电提供新的解决方案。
2、热电:新型纳米材料可将废热转化为电能,海南微纳加工服务价格,因而对于那些利用燃烧作为主要供能方式的领域(如混合动力汽车)来说,这将较大促进节能。
3、燃料电池:作为可持续氢经济的组成部分或者是基于燃料电池的高i效的碳氢化合物,在减少汽车尾气排放方面都大有潜力可挖,抑或作为热电联产电站,来降低排放。
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