贵州真空镀膜外协-半导体测试-低压气相沉积真空镀膜外协

真空镀膜外协MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，功率器件真空镀膜外协，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

真空镀膜冷水机的工作原理：

制冷循环采用逆卡若循环，该循环由两个等温过程和两个绝热过程组成；其过程如下：

（1）等温过程--液体吸热气化形成蒸汽的传热与液体汽化潜热的传递平衡关系式为 q=kt 式中 k--常数 ，称为亨利定律； t --时间 。

（2）绝热压缩过程--利用蒸气压缩来实现制冷循环的两个不同温度的中间介质的换热遵循可逆卡诺尔公式 c =-lg（r22+h22 ） 式中 r22 --中间介质的平均温度 （ °C ）， h22 --中间介质的温度 （°C ）。

当 r 22 -1 时称做阶段或低温区 ；当 r 22-2 时称做第二阶段或高温区；两者之差即代表该阶段的温差（或称焓值）；此温差的大小取决于两相物质的性质及其比容的变化情况而定。

（3）再加热的过程--把经过绝热的低温区的工质重新吸入到高温区内实现再加热的过程称为回热或逆卡若循环。

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哪些溅射靶材可用于热反射镀膜

锌溅射靶材

锌是一种蓝白色、有光泽、抗磁性的金属，尽管常见的商业级金属具有无光泽的表面。它在某种程度上比铁密度小，具有六方晶体结构，具有紧密六方堆积的扭曲形式。同时，每个原子在其平面上有六个近的邻居（在 265.9 pm），共溅射真空镀膜外协，另外六个在 290.6 pm 的更远距离处。金属在大多数温度下坚硬易碎，但在 100 到 150 ℃ 之间变得可塑性。210℃以上，金属又变脆，敲打即可粉碎。锌是一种公平的电导体。对于金属，锌的熔点（419.5 ℃）和沸点（90）相对较低。

锰溅射靶材

锰是一种化学元素，符号为 Mn，原子序数为 25。它在自然界中不是自由元素；它通常存在于与铁结合的矿物质中。锰是一种具有重要工业金属合金用途的金属，特别是在不锈钢中。锰是一种银***的金属，类似于铁。它坚硬且非常脆，难以熔化，但容易氧化。锰金属及其常见离子是顺磁性的。锰在空气中会慢慢失去光泽，并在含有溶解氧的水中像铁一样氧化（“生锈”）。

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真空镀膜是一种将待镀材料和被镀基材放置于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华并飞溅到被镀基材表面凝聚成膜的表面处理工艺，如图所示。

真空镀膜工艺可使塑料表面具有金属质感，并赋予一定的导电性能，其基材选择广泛，过程环保***，颜色相较电镀更加丰富。此工艺可分为三种类型：蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

真空镀膜原理图

在内外饰系统中，荣威标牌嵌件是采用真空镀膜的典型零件。通过标牌嵌件背面镀的银色铝膜与淡***PMMA基材共同形成了的金色狮子华表图案。荣威标牌嵌件采用的是真空镀膜工艺中的溅射镀膜。真空镀膜典型零件及镀膜机实物图如图所示。

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