DV650真空泵维修-东莞东欧真空设备

真空泵使用前须符合哪些要求?如下所示：

　　一、驱动机的转向应与泵的转向相符。

　　二、各连接螺栓不得有松动现象。

　　三、在调节机座内、安全补油阀组、泵缸腔内或液压隔膜腔内加注润滑油，均应符合设备技术文件的规定。液压隔膜式计量泵的液压腔内不得存有气体。

双级旋片真空泵转子和泵体之间， 转子与端盖之间的间隙使用油封密封， 以防漏气。预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，以及因发生故障所造成的经济损失日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，DV650真空泵维修公司，采用预防维修是不可缺少的。

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

PVD

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，DV650真空泵维修加工，从而节省了前级管道和 安装成本，DV650真空泵维修，如果需要也可远程使用。  

受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，DV650真空泵维修***，可在洁净室内实现低噪声。

真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。

应用

镀膜

 玻璃镀膜 机的负载锁和大型内嵌镀膜机

 卷绕镀膜 和粘辊

 光学镀膜、 镜片镀膜和显示屏镀膜

 表面镀膜，如等离子体沉积和 反射或装饰镀膜

干燥

 变压器 干燥

 汽车 干燥和填充系统

 制冷和空调

 电池和电容器干燥

热处理

 回火

 淬火

 退火

 真空 钎焊

 电子束和等离子焊接

一般工业