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目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术，但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值，响应时间比较长，又缺乏灵活的控制算法，所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正，在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力，因而具有理想的隔振效果，正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。

控制温度变化：随着时间的延续，不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如，避免在平台下放置散热设备，隔绝热源设备和硬件，如光源、火焰等，尽可能将台面设计成对温度不敏感：良好的热传导性可起到作用，然而，光学平板价格，在极I端特殊的应用中，选用不随温度变化而改变外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不胀钢，具有很小的热膨胀系数。一米长的超不胀钢在温度变化1K时膨胀长度约0.2微米。

用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在***过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。