厦门绿恒创洁净方案(图)-食品厂净化-邵阳净化

厦门绿恒创机电工程有限公司是闽南地区主流的无尘室整体工程承建商之一，作为无尘室系统工程建设的代表。

公司主营微电子、光电显示、太阳能、半导体、精密机械、光学仪器、GMP制药、生物工程、食品、化妆品、精细化工、实验室、******室等。1、光刻设备尺度问题。在微电子技术工艺中为关键的设备为光刻机（***工具），此设备的制造过程复杂、成本高且其精密度要求较高，而设备分辨率以及焦深都会影响光刻技术的应用，当尺寸推进至0.05um且停滞较长时间后则会引起集成电路无法快速的进入纳米时代。

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