微阵列（Microarray）芯片以高密度阵列为特征。其基础研究始于20世纪80年代末，本质上是一种生物技术，主要是在生物遗传学领域发展起来的。
微阵列分为cDNA微阵列和寡聚核苷酸微阵列.微阵列上"印"有大量已知部分序列的DNA探针，台湾表面氨基化，微阵列技术就是利用分子杂交原理，使同时被比较的标本(用同位素或荧光素标记)与微阵列杂交，通过检测杂交信号强度及数据处理，表面氨基化的方法，把他们转化成不同标本中特异***的丰度，从而比较不同标本的***表达水平的差异.微阵列技术是一种探索***组功能的有力手段.
主要原因是，合成反应每步产率比较低，不到 95% 。而通常固相合成反应每步的产率在 99% 以上。因此，探针的长度受到了限制。而且由于每步去保护不很，致使杂交信号比较模糊，表面氨基化方法，信噪比降低。为此有人将光引导合成技术与半异体工业所用的光敏抗蚀技术相结合，以酸作为去保护剂，使每步产率增加到 98% 。原因是光敏抗蚀剂的解离对照度的依赖是非线性的，当照度达到特定的阈值以上保护剂就会解离。所以，该方法同时也解决了由于蔽光膜透光孔间距离缩小而***芯片引起的光衍射问题，有效地提高了聚合点阵的密度。另据报导 ，利用波长更短的物质波如电子射线去除保护可使点阵密度达到 1010/cm2 。
2.大规模***心片
大规模***芯片通常涉及***组规模与数量(一般大于10000个***)，分别采用接触式点样、非接触式点样或者半导体技术制备样品。接触式点样方法包括点样元件或点样元件中的液体和芯片基片间有直接接触的各种方法。非接触式芯片制备方法包括各种芯片制备中不需点样元件和芯片基片间直接接触的各种技术，其样头的是以可控的方式从喷嘴中喷出小体积的液滴。半导体制备技术指借鉴计算机芯片制造业中的微型化加工方法的***芯片制备技术。***芯片的工作流程如下:
(1) 经大规模PCR扩增获得***cDNVA插入片段。
(2)用机械手将 PCR产物点在玻璃板上，变性、固定。
(3)分 别从不同或***中分离mRNA.反转录生成cDNA.
(4)用 不同的荧光染料标记不同或***的cDNA。
(5)将标记好的 cDNA与点好的芯片进行杂交。
(6)激光扫描芯片杂交结果， 计算机处理。
(7)分 析杂交数据。
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