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纯水(超纯水)处理设备，是指水中的导电介质几乎完全去除，同时不离解的气体、胶体以及有机物（包括***）也去除至很低程度的水。其电导率一般为0.1~0.055uS/cm，电阻率（25℃）>10x10^6Ω·cm ，含盐量<0.1㎎/L.理想纯水(理论上)电导率为0.055 uS/cm，电阻率（25℃）为18.3x10^6Ω·cm。
源水→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→一级反渗透膜→二级反渗透膜→TOC脱出器→EDI系统·低压开关保护高压泵不会因供水停止而损坏。
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