






平台用仪器支架是光学平台应用的延伸,***放置,可放置示波器、各种控制器、适配器电脑等,不仅可以充分利用光学平台上方的空间,且操作各类仪器时不影响平台的的稳定性。
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随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如,用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,在***过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。
品质好的精密光学平台不仅需要高精度的机器设备来加工,更需要有高精度检测手段与检测仪器来保证,科研级气浮隔振平台定制,也只有品质好的光学平台才能保证高精度的科学实验、研究的正常进行。
1、试验目的:检测气垫隔振垂直方向和水平固有频率、振幅、振动速度、振动效果。
2、试验方式:采用三点均布试验。
3、试验设备和试件:气垫隔振器三只、质量载体一件。
4、测试仪器振动分析;位移传感器2只;电脑;采集分析软件。
5、试验:采用多点敲击法澜可得固有频率,振幅,振动速度,振动效果。
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