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PEB之后，硅片冷却至23℃左右，与显影液温度相同，并与显影液发生化学反应。一般来说，显影过程中被***和未***部分的光刻胶都会与光刻胶发生反应，***显影企业，对显影的要求不高，***显影生产厂家，可以直接将硅片放入显影液槽中浸泡然后取出。对于大部分对显影要求较高的生产及实验过程，通常使用的匀胶显影机来自动控制显影过程，如图所示。***显影***显影


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从上式可以看出，***总能量E随光强度J和***时间T而变化。当***时间丁一定，***显影厂商，光强度改变，***总能量也随之改变。所以尽管严格控制了***时间，但实际上干膜在每次***时所获得的***总能量并不一定相同，因而聚合程度也就不同。为使每次***能量相同，利用稀碱溶液与光致抗蚀剂中未***部分的活性基团(羧基)反应，生成可溶性的物质溶于水，而***部分的干膜不发生溶解。


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