微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
专注微纳光学，积极拓展产品应用。公司深耕微纳光学领域，从微纳光学关键制造 设备起步，通过自主研发，外部并购等途径，建立了覆盖微纳光学主要应用领域的 研发、制造体系。在底层技术的支撑下，相继开发出了多系列的光刻 机、压印设备，构建完备的维纳光学设备集群，陆续推出公共安全材料、新型 印刷材料、导光材料、中大尺寸电容触控模组和特种装饰膜等产品，同时正在研发 适用于 AR 显示的光波导镜片等新一代产品。
微纳光学设计与制造，激光器光刻工艺技术，三大事业群齐头并进。公司拥有丰富的微纳光学设计经验， 以及光刻和纳米压印设备自主设计制造能力，以此支撑公共安全和新型印材、反光 材料和消费电子新材料三大产品事业群。未来公司还将持续加大 AR 眼镜光波导镜 片、全息光场 3D 显示、微透屏下***等项目的研发投入，深入挖掘微纳光学智能 制造等应用领域，激光器光刻工艺平台，持续推进研发技术成果转化为市场竞争力。
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微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
光刻掩膜版，也通常称为掩膜板，它是我们在微纳加工技术中常用的光刻工艺中使用的图形的母版。
通常对掩膜版的基本求如下：
（1）精度高：图形尺寸准确，符合设计要求，且不发生畸变。
（2）套刻准：应当保证整套掩模版中的各个次版能依次套住，套准误差尽量小。
（3）反差强：图形黑白域之间的反差要高，一般要求在2.5以上。边缘光滑，刺，过渡区要小（即“黑区”应尽可能陡直地过渡到“透明区”）。
（4）耐磨损：版面平整、光洁、无和划痕，坚固耐用且不易变形。
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微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，湖北激光器光刻工艺，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，激光器光刻工艺服务，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
如今，全世界能够生产光刻机的***只有四个，中国成为了其中的一员。
坚膜，以提高光刻胶在离子注入或刻蚀中保护下表面的能力；进一步增强光刻胶与硅片表面之间的黏附性；进一步减少驻波效应（StandingW***eEffect）。
常见问题：
a、烘烤不足（Underbake）。减弱光刻胶的强度（抗刻蚀能力和离子注入中的阻挡能力）；降低小孔填充能力（GapfillCapabilityfortheneedlehole）；降低与基底的黏附能力。
b、烘烤过度（Overbake）。引起光刻胶的流动，使图形精度降低，分辨率变差。另外还可以用深紫外线（DUV，DeepUltra-Violet）坚膜。使正性光刻胶树脂发生交联形成一层薄的表面硬壳，增加光刻胶的热稳定性。在后面的等离子刻蚀和离子注入（125～200C）工艺中减少因光刻胶高温流动而引起分辨率的降低。
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湖北激光器光刻工艺-半导体测试-激光器光刻工艺平台由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所位于广州市天河区长兴路363号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前半导体研究所在电子、电工产品加工中享有良好的声誉。半导体研究所取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。半导体研究所全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。