百级无尘室-无尘室- 清阳净化系统工程(查看)

?【检查方法】检查检漏报告和日常维护记录。

?【结果处理】当无特殊要求时，未作现场扫描检漏的应补做，如无特殊要求，宜采用将纳入《洁净室施工及验收规范》的粒子计数器大气尘检漏法。 ?【参考】 大气尘检漏法可用2.83L/min粒子计数器，对5级及其以下洁净室所用普通高1效过滤器，需要高1效过滤器上游浓度≥5000粒/L，采样口宜为15mm×20mm，20mm为平行于扫描方向的长边，万级无尘室，采样口离检漏表面25mm，扫描速度≤2cm/s。

?【参考】 扫描过程中当出现≥1粒计数时，即出现漏泄特征，应在该处停留1min，若再出现≥3粒的计数，即判断为漏，否则为不漏。

?【参考】 ISO14644指出粒子计数器法比DOP光度计法检漏更灵敏。沉积在过滤器和管道上的DOP的挥发对产品可能造成无法接受的污染或分子污染；长时间测试会造成过滤器污染堵塞；对人也有危害。

无尘车间洁净室监测与维护

10.1

无尘车间洁净室（区）应有对洁净室（区）性能的动态监测和静态年检的计划，无尘室厂家，动

态监测由使用方质检部门执行，无尘室，

应有布置方案、

测试记录和签名。

静态年检应由

第三方执行。

?【检查方法】查看文件、记录。

10.2

无尘车间洁净室动态监测项目为：静压差

沉降菌或浮游菌菌落数

应在一段时间内固定一定监测位置。

无尘室净化间监测与维护

10.1

无尘室（区）应有对洁净室（区）性能的动态监测和静态年检的计划，动

态监测由使用方质检部门执行，

应有布置方案、

测试记录和签名。

静态年检应由

第三方执行。

?【检查方法】查看无尘室净化室文件、记录。

10.2

洁净室工程的动态监测项目为：

静压差

沉降菌或浮游菌菌落数

应在一段时间内固定一定监测位置。

 当采用动态气流密封的零漏泄排风装置时，指示正压腔内压力的仪表应显示≥5Pa。

排除可能含有Ⅳ类生物***度的生物气溶胶除应符合6.5要求外，百级无尘室，必须安B、C类两道高1效过滤器，排风过滤装置必须是零漏泄，必须可以现场在线扫描检漏。 ?【检查方法】外观检查，查看过滤器铭牌。

?【结果处理】不符合要求的为严重缺陷，必须改装，然后方可使用。 6.8有腐蚀性化学气溶胶的排风管道应采用防腐材料制作。 ?【检查方法】外观检查。

?【结果处理】材质不符合要求时酌情更换。