广州TV801Agilent分子泵升级改造-广州潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——TV801Agilent分子泵升级改造

注意监测前级真空分子泵是一种高真空泵，它必须配合合适的并且性能良好的前级泵才可以正常工作；除了在选型时尽量选择推荐的前级泵之外，分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力，避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高，造成负荷过大，泵温过高等。这些情况一定要加轴承吹扫分子泵所抽的气体如果含有较多的可凝性气体（如水汽，等），高浓度的氧气、腐蚀性气体，或者粉尘等，需要增配吹扫阀（Purge Valve），工作过程中利用吹扫气（一般为干燥氮气）持续对轴承进行吹扫，以达到隔离污染物，保护轴承的目的。

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当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的大允许温度为 120 度）。

另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。

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分子泵故障：　　1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

　　原因：附近有光照或其他热源

　　解决方法：避免光照或热源

　　2、分子泵使用中发现油发黑，TV801Agilent分子泵升级改造，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？

　　原因：冷却不良，负载太大

　　解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

　　3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又***到正常，之后又下降至一定频率，再***到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

　　原因：负载太大，系统真空度不够

　　解决方法：检查系统

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目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，但其制造技术为国外掌握，我国尚处于起步阶段，市场对于干式真空泵有迫切的需求。

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安捷伦分子泵采用的3级TwissTorr 拖动级技术，通过分子泵旋转盘面，提高气体分子动能，从而有效提高抽速和极高的压缩比。的拖动级技术与上一代设计相比，功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵，是目前市场上极限真空度的干泵

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安捷伦Agilent E8364B PNA系列网络分析仪频率范围：10 MHz-50 GHz104 dB 动态范围和 <0.006 dB 迹线噪声<26 微秒/点测量速度，32 个通道，16，001 个点TRM/LRM 校准可实现准确的晶圆上、夹具内、波导和天线测量混频器变频损耗、回波损耗、隔离度和群延迟放大器增益压缩、谐波、IMD 和脉冲射频安捷伦E8364B矢量网络分析仪是PNA系列网络分析仪平台的成员，并提供速度和精度的组合，为今天的高频率，的组件测试要求的苛刻需求。