




消费者应用这种氦质谱检漏仪能够从根本上保证这种产品拥有良好的应用价值,在我国更多的产品漏率检查之中原先更好的技术支持,因此氦质谱检漏仪的优势更保证了我国产品漏问题检查的质量。检漏仪全无油的干式检漏:有些***生产的检漏仪,雪融机整机检漏,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10 -11 Pam3 / s 数量级,仪器响应快,
对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,***,不腐蚀零件;氦质谱检漏主要领域:空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。
氦气是较轻的惰性气体,在喷出时会自动上升,为了准确找到漏孔位置喷氦,使用此方法时喷氦自上而下,由近至远(相对检漏仪的位置),这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入;质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。常用的传统气体管道检漏方法,如气泡法和肥皂法在化工厂等***气体的管道检漏不实用,检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。
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