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净化车间洁净度检测时，使用光散射粒子计数器的取样量：关于尘土粒子计数器检测时的空气取样量，在GBJ73-84中规则：关于100级的净化车间，每次取样量应大于或等于1L，关于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，关于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.1L。关于100级净化车间，宜选用大流量粒子计数器进行测试。
我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初，净化工程设计施工报价，在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快，相继建成一批洁净厂房，净化工程设计施工，并研制成功100级单向流洁净室;与此同时，净化工程设计安装施工，洁净厂房用设备和资料，如过滤器，洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功，并投入出产，虽然制作质量和某些工程指标与世界水平尚有差距，但已能满足国内部分需求，到20世纪70年代末我国洁净室规 划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。
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