江苏风机动平衡服务-金斗云测控设备(在线咨询)

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI Viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，光刻机是世界上精密的仪器，对振动的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准，风机动平衡服务，VC微振动标准分为：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。名的光刻机制造商荷兰A***L要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机，某名半导体制造商使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS，无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI Viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI Viber-x5振动分析仪应用于某半导体管路及地面振动检测

随着科技的发展，每个电子产品都离不开半导体芯片。的半导体芯片制造企业，如：Intel、台积电、三星、德州仪器、海力士、美光等半导体制造企业对于厂房基建的微振动有严格的要求。微振动一共7个等级，分别为CV-A/VC-B/VC-C/VC-D/VC-E/VC-F/VC-G。洁净室根据放置的设备不一样，对于地面的振动要求等级不一样。如光刻机的机台地面要求达到VC-D 6.25um/s RMS以下，为确保是否符合标准。某半导体制造企业使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪对地面进行振动检测，为光刻机装机前确保振动值符合VC-D 6.25um/s RMS保驾护航。

昆山金斗云测控设备有限公司（GOC）是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典VMI振动分析仪VIBER X5规格说明：

常规功能

停机测试

停机程序用来分析当机器的转速逐渐降低的过程中，例如停机时可测量机器的共振和临界转速。仪器以两个绘图显示该测量，振幅和相位随机器转速变化的曲线。

Vibshape

这是一个 ODS 动画模块，主要用于分析设备结构的变形共振等结构性的振动，通过 ODS 动画的方式呈现出来，便于振动分析师快速且准确的提交解决方案。