应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，SV100B真空泵维修哪家优惠，可在洁净室内实现低噪声。
爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵，SV100B真空泵维修选哪家， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色，SV100B真空泵维修， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。
经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。 经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。
真空泵使用前须符合哪些要求?如下所示：
一、驱动机的转向应与泵的转向相符。
二、各连接螺栓不得有松动现象。
三、在调节机座内、安全补油阀组、泵缸腔内或液压隔膜腔内加注润滑油，均应符合设备技术文件的规定。液压隔膜式计量泵的液压腔内不得存有气体。
快速：
缩短了抽气时间，可实现 5 X 10-4 mbar 的极限真空
稳定：
即使在严苛工业应用中也能可靠运转
智能：
板载控制器，具备广泛的通信和自动控制功能
经济：
可承受的资本***，低拥有成本
环保：
运转平稳安静，低功率，低水电消耗
SV100B真空泵维修-东欧真空泵现货供应由东莞东欧真空设备有限公司提供。东莞东欧真空设备有限公司是广东 东莞 ,真空泵的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在东欧真空***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创东欧真空更加美好的未来。
