微纳光刻加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
在芯片制作过程中，如果有涉及掩膜光刻的工艺，就需要使用到光刻掩膜版。
具体需要几块掩膜版，根据终器件功能需求及芯片设计不同，需求数量也有不同。只需要一次光刻，广州微纳光刻技术，制作也只需要1块光刻掩膜版，如需多次光刻，就要多块掩膜版。
无掩膜版光刻即不采用光刻掩膜版的光刻技术，主要分为两类，即带电粒子无掩膜光刻和光学无掩膜技术。
无掩膜光刻具备分辨率高、成本较低等优势，同时也面临着生产效率低的问题。电子束之间的干扰易造成邻近效应，耗时长，激光束准确度不稳定，与现有成熟工艺兼容不够等都是想要进入量产阶段需要克服和解决的问题。
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接触式光刻机，***时，光刻版压在涂有光刻胶的衬底上，优点是设备简单，分辨率高，微纳光刻技术服务价格，没有衍射效应，缺点是光刻版与涂有光刻胶的晶圆片直接接触，每次接触都会在晶圆片和光刻版上产生缺陷，降低光刻版使用寿命，成品率低。
光刻胶是光刻工艺的材料：光刻胶又称光致抗蚀剂，它是指由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分构成的对光敏感的混合液体。
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光刻掩膜版清洗一般使用掩膜版清洗液，是有专门的额清洗机器的。首先将掩膜版放入掩膜版清洗机一边冲洗一边旋转，将污染颗粒冲洗干净，之后在高速旋转烘干。目前而言，掩膜版清洗机可以清洗的掩膜版尺寸包括3寸，4寸，微纳光刻技术工厂，5寸，微纳光刻技术定制，6寸的掩膜版。
光刻是一门比较综合的技术，它采用照相复印的技术，将光刻掩膜版上的图形在涂有光刻胶的金属蒸发层上。如果掩膜版受光刻胶污染，很大程度上会影响***，带来影响，因此光刻过程中需要保持掩膜版的干净。
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