无尘车间的设计规划：1、节能原则:无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，***无尘车间价格，例如暖气通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力大于整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。设计和设备需要很大的前期投入。那种"小处节约大处浪费的所谓捷径和削减成本，***无尘车间工程，会造成工厂的运行性能减少和能耗增加。对已建成工厂的改建通常会陷入到经济旋涡当中。
无尘车间的净化设备：1、风淋室。风淋室是工业洁净厂房中不能缺少的洁净配套设备，它能去除人和物表面的尘埃，同时又对风淋室两侧的洁净区和非洁净区起到了缓冲与隔断的作用。2、FFU风机。过滤单元FFU为英文缩写，***无尘车间，全称为Fan Filter Units，***无尘车间图片，中文意思为"风机滤器单元(机组)”，也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入过滤器过滤，为不同尺寸大小，不同洁净度的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。
无尘车间的注意点：1、人员净化和物料净化。洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室。人员净化用室包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更洁净工作服等房间。生活用室包括盥洗室、淋浴室、休息室等以及空气吹淋室、工作服洗涤间和干燥间等其他。净化室内设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等特征设置物料净化用室及其设施，应防止净化后物料在传递过程中被污染。
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