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真空镀膜厂家MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

关于电子束热蒸发镀膜机，绝大部分的人根本都没听说过，电子束热蒸发镀膜机是一种应用于机械工程、物理科学、材料科学领域的一种计量仪器。

电子束蒸发是一种物***相沉积（PVD）技术，物***相沉积技术，本质是在真空条件下，采用物理方法，将材料汽化，然后通过低压气体过程，使材料蒸发再沉积，成为具有某种特殊功能的薄膜。真空蒸镀是PVD技术中使用早的方法。真空蒸镀的基本原理，是在真空条件下，使金属、金属合金等蒸发，山西真空镀膜厂家，然后沉积在基体表面，而蒸发常见方法有：电阻加热、高频感应加热、电子束、激光束等高能轰击镀料，使其蒸发再沉积。

所以，电子束蒸发镀膜机的其工作原理就不难理解了：，电子束蒸发及在真空下，利用电子束直接加热蒸发材料，硅真空镀膜厂家，并将蒸发的下料输送到基板上，形成一个高纯高精的镀膜。

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先来介绍一下，什么是磁控溅射镀膜机？百度百科上，关于磁控溅射镀膜机是这样解释的：磁控溅射镀膜机是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器，是一种普适镀膜机，目前主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。

这还要从这种机器的系统组成说起，磁控溅射镀膜机内部系统主要是由：真空室系统溅射室、靶及电源系统、样品台系统、真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、电控系统、计算机控制系统及辅助系统等组成。

除此之外，标准的磁控溅射镀膜机，它的技术指标也是有一个固定值的，就像是磁控溅射镀膜机的真空部分，包括真空室系统溅射室、真空抽气及测量系统，对于这两部分来说，它们的极限真空度应该为：6.7×10-5Pa，系统漏率：1×10-7PaL/S。***真空的时间应该在：40分钟可达6.6×10 Pa（短时间暴露大气并充干燥氮气后开始抽气）。

不仅如此，除了技术指标之外，这些设备的尺寸指标也是有合格标准的。真空室的标准大小应该处于：圆形真空室，尺寸550× 450mm。样品台的标准尺寸应该是：尺寸为直径350mmX280mm，滚筒结构。包括磁控靶：有效溅射区为3英寸×3英寸，数量：4支，标准型永磁靶，1支，标准型强磁靶，钎焊间接水冷结构；靶直径Φ60㎜，靶内水冷。靶基距为50～90mm连续可调（手动），并有调位距离指示。

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真空镀膜冷水机结构：

1、真空泵（进口）；

2、水箱、水泵；

3、冷却塔；

4、冷凝器；

5、压缩机；

6、过滤器；

7、膨胀阀；

8、压力表；

9、电控箱。

真空泵的作用是将压缩空气进行减压，然后送到水箱里。

水箱的作用是储存冷媒水，并起到散热作用。 水泵的作用是将冷媒水加压送入冷却塔中。 冷凝器的作用是使进入蒸发器的热交换气体降温，同时将制冷剂在蒸发器中的液化气放掉一部分。

膨胀阀的作用是当制冷系统出现故障时自动开启排气口，释放出系统中多余的压力和热量。

电控柜的功能是对整个系统的控制及保护功能。（包括对温度的控制、压力的监控、过电流的保护等等）。

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