针对平面贴标机的特点，对平面贴标机进行了系统的设计，旋转激光打标机，并实现了贴标的全自动化。系统主要由传输结构，贴标机构，抚压机构，控制装置组成。采用伺服电机代替传统的步进电机，步距更加准确，使贴标机出标的速度，输送速度更高，更稳定，采用分2段的出标方法，极大降低了输送结构本身的不稳定带来的影响，提高了贴标的质量和效率。
2。对晶圆的贴标工艺做了深入研究，完成了贴标机的控制系统部分设计，应用***思公司的KV—1000系列PLC实现电气部分设计和控制程序的实现。3。为了实现贴标机高精度的性能，本文改进了普通两相混合式步进电机的闭环控制方法，对贴标机的晶圆盒的升降步进电机的位置控制系统进行分析，并根据位置伺服系统的数学模型，分别设计了PID控制器和模糊控制器，旋转激光打标机功率，并在Matlab的Simulink环境下做了性分析。4。开发了上位机与KV—1000系列PLC通信程序实现，实现了贴标过程的管控一体化。以上研究成果以及在晶圆自动贴标机上得到了实际验证，并在苏州瑞萨半导体公司投入使用。
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