用刻蚀步骤，对暴露在外的材质进行去除，留下晶圆所需要的材质和附着在其上的光刻胶，然后再将光刻胶通过刻蚀去除。此后多次重复上述步骤，得到构造复杂的集成电路。刻蚀的材质包括硅及硅化物、氧化硅、氮化硅、金属及合金、光刻胶等。通过有针对性的对特定材质进行刻蚀，SPM腐蚀设备，才能使得晶圆制造不同的步骤所制造的电路之间相互影响，使芯片产品具有良好的性能。
清洗机设备
触摸屏玻璃清洗机其实能够算得上是一个小清洗机器人，但是也没有说有你们说的那么的复杂，SPM腐蚀机，其实他就是一个全自动的清洗机器。这边做一个简短的介绍。
触摸屏玻璃清洗机全过程为机械全自动。(采用单梁多臂的机械手) 清洗特点：
1清洗光学玻璃时，不会因保管中所出的现象朦胧不清楚
2清洗光学玻璃时，不会发生潜伤，
3 超声波清洗定时控制
4 对材料没有不良影响电脑控制触摸屏操作全过程。大大降低劳动强度。
触摸屏玻璃清洗机全过程为机械全自动。(采用单梁多臂的机械手)。全自动超波触摸屏玻璃清洗机主要由触摸屏玻璃清洗机和超声波发生器两部分构成。触摸屏玻璃清洗机用坚固弹性好、耐腐蚀的不锈钢制成，镇江SPM，底部安装有超声波换能器振子；超声波发生器产生高频高压，通过电缆联结线传导给换能器，SPM清洗，换能器与振动板一起产生高频共振，从而使清洗槽中的溶剂受超声波作用对污垢进行洗净。
各工序简要说明以下：
①进料：物件进料可采用半踊跃进料
②压电式换能器目前国表里大多数超声波清洗机用的是压电式换能器，勘L形结构。
这种换能器通常有两片压电陶瓷晶片构成。一台清洗机用多个换能器，经粘接剂粘接在清洗缸底部且经并联联接构成一台清洗机的换能器。换能器基元之间距(关于频率20kH4多数在5—10为佳，太大了简单制作生笔直振动，且振动板遭到腐蚀，同时辐射面减少。
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