真空泵在工作1个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。真空泵在寒冬季节使用时，普旭真空泵维修公司，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在效率点运转，才能获得da的节能效果。
真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C 。
如发现真空泵有异常声音应立即停机检查原因。
真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
真空泵在工作第yi个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常。
定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
真空泵在寒冬季节使用时，普旭真空泵维修哪家优惠，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
Edwa*** Drystar 80 干式真空泵易于安装和试运转，深圳普旭真空泵维修，同时洁净、坚固、高，足以取代传统的油封泵。 GV80可处理大容量可冷凝蒸汽和颗粒负载，提供稳定的泵送性能、的维修干预和低运行成本。 Drystar 80 使用干泵技术，具备的密封设计，可消除真空制程中的污染，因此适合各种应用和环境。 Edwa***真空泵 工业干泵 GV80 爪式真空泵 爱德华工业干泵 干式真空泵
概述
Edwa*** 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。
我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，普旭真空泵维修多少钱，在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。
Drystar 泵可以与 Edwa*** EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
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