





机械式激光雷达
机械式激光雷达存在精密装配困难、系统庞大等缺点,车载固态激光雷达,目前价格仍然居高不下。为了突破这一缺陷,研究者们提出了诸多的解决方案。20世纪90年始出现Flash 3D成像激光雷达,也出现了通过液晶实现的光学相控阵结构,21世纪初出现了MEMS类型的激光雷达组件,迄今各种方案竞相追逐,不断发展。MEMS器件作为机械式向固态LiDAR过渡的解决方案,具有一定程度的小型化、响应速度较快的特点,且MEMS功能性结构能够忍受热压,因此可以承受相对较高的激光能量,但是由于MEMS结构单元尺寸较大,存在机械振动、旋转,受环境因素影响较大。针对全固态激光雷达发展需求,Flash激光雷达可对目标一次照射成像,成像质量终取决于面阵探测器的性能,但是数据庞大,一次成像速度较慢。液晶光学相控阵器件在空间光调制器领域商业化应用成熟,具有全固态、便宜、可大面积制作等特点,但是响应速度较慢、光束可偏转角度较小。数十年来,车载固态激光雷达价格,集成光波导相控阵芯片作为全固态、小型化LiDAR有潜力的解决方案得到了广泛的研究,硅基光学相控阵激光雷达具有CMOS兼容的特点,价格便宜,但是热光效应的扫描速度仍有待提升,可以采用硅基等离子体色散效应的相位调制器来满足更高速的应用需求。

固态激光雷达
固态激光雷达有很多优势,首先其结构简单、尺寸小,由于不需要旋转部件,可以大大压缩雷达的结构和尺寸,提高使用寿命,并降低成本。其次,机械式激光雷达由于光学结构固定,适配不同车辆往往需要精密调节其位置和角度,固态激光雷达可以通过软件进行调节,大大降低了标定的难度,加快扫描速度快与精度。
不过固态激光雷达也有它相应的缺点,固态意味着激光雷达不能进行360度旋转,只能探测前方。因此要实现扫描,需在不同方向布置多个固态激光雷达。另外,固态激光雷达依然无法解决气候下,无法施展性能的弊端。如果与全天候工作的毫米波雷达相结合的话,必然可以大大提升自动驾驶汽车的探测性能。

MEMS激光雷达
二维扫描的MEMS微振镜是激光雷达的关键器件,主要可以通过电热效应、静电效应、电磁效应和压电效应驱动。有研究小组通过对电热双压电晶片驱动的微振镜加热,金属铝的形变大于介质硅,从而形成微结构的振动。实验可以施加电压2.3V,获得9°的偏转角。但是电热效应引起微振镜偏转通常响应速度较低,有实验通过施加12mW的电功率,车载固态激光雷达多少钱,响应速度只有74Hz。电磁效应驱动的MEMS系统需要在内部封装可动磁性物质或者可动线圈产生磁场,如图3所示,通过施加磁场形成洛伦兹力使得线圈产生偏转,从而驱动MEMS振镜偏转,响应速度可以超过10kHz。压电效应需要异质材料的介入,压电材料(PZT)具有、响应速度快等优点。日本研究小组采用电镀的方法在硅上沉积PZT薄膜,加工形成MEMS结构并进行光学扫描,实验获得11.2kHz的响应速度,39°的视场角。静电效应驱动MEMS具有尺寸小、可单片全集成的优点,受到广泛研究。通常,采用静电效应驱动微反射镜的方式需要在真空环境下,以获得更高的驱动效率,10V电压驱动可以实现大约10°的扫描角度。瑞典KTH的研究小组近期验证了一种新方法,如图4所示,通过MEMS改变光栅周期实现衍射光角度偏转,在20V电压驱动下达到5.6°的扫描角度,功率消耗在微瓦量级。

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