




随着惯性系统低成本化的发展,在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术,所以称为石英挠性加速度计,且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。石英挠性加速度计型号是在金属挠性加速度计以及液浮摆式加速度计基础上发展起 来的新一代加速计,具有结构简单、灵敏度高、功耗小、长期稳定性好及易于小 型化的特点,精度和可靠性都已达到了现代高精度惯导系统的要求,广泛应用于 各种、船舶、地面车辆、***、潜艇等惯性导航领域。
石英挠性加速度计型号的组成由于这种表面选用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度计,三轴石英挠性加速度计型号,且其结构与工艺大大简化,重庆石英挠性加速度计型号,这种石英挠性加速度计已广泛运用于各类现代惯性系统中。加速度传感器工作原理根据加速度传感器的种类不同,也会有相应的区别。加速度传感器是一种能够测量加速力的传感器。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就好比地球引力,也就是重力。三轴加速度传感器也是基于加速度传感器工作原理去实现工作的,加速度是个空间矢量,一方面,要准确了解物体的运动状态,必须测得其三个坐标轴上的分量;另一方面,在预先不知道物体运动方向的场合下,只有应用三轴加速度传感器来检测加速度信号。由于三轴加速度传感器也是基于重力原理的,因此用三轴加速度传感器可以实现双轴正负90度或双轴0-360度的倾角,通过校正后期精度要高于双轴加速度传感器大于测量角度为60度的情况。目前的三轴加速度传感器/三轴加速度计大多采用压阻式、压电式和电容式工作原理,产生的加速度正比于电阻、电压和电容的变化,通过相应的放大和滤波电路进行采集。
石英挠性加速度计型号挠的材料为温度性能的石英玻璃,外形采用超声加工而成,挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法;也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠,双轴石英挠性加速度计型号,但造价很高。加速度引起的差动电容变化量由伺服电路中差动电容检测器检测,为其输出为电流,单轴石英挠性加速度计型号,经电流积分器变成输出电压,然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流,此输出电流的大小与输入加速度成正比。
产品广泛用于航空航天高精度导航系统、惯性导航、航海***、飞行姿态控制或地质勘探捷联系统。
石英挠性加速度传感器的性能指标
测量精度高
重复性佳
可靠性高体积小
重量轻宽压供电
功耗低
模拟电信号输出技术指标技术性能量程±60g阈值(分辨率)1×10-5g偏值(K0)<4mg偏值(K0)温漂<40μg/℃偏值(K0)年稳定性1mg标度因数(K1)1.2~1.46mA/g 。
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