光电器件真空镀膜MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
系统参数
工艺会受到很多参数的影响。其中，一些是可以在工艺运行期间改变和控制的;而另外一些则虽然是固定的，但是一般在工艺运行前可以在一定范围内进行控制。两个重要的固定参数是:靶结构和磁场。
2.2.1靶结构
每个单独的靶都具有其自身的内部结构和颗粒方向。由于内部结构的不同，两个看起来完全相同的靶材可能会出现迥然不同的溅射速率。在镀膜操作中，如果采用了新的或不同的靶，应当特别注意这一点。如果所有的靶材块在加工期间具有相似的结构，调节电源，广东光电器件真空镀膜，根据需要提高或降低功率可以对它进行补偿。在一套 靶中，由于颗粒结构不同，也会产生不同的溅射速率。加工过程会造成靶材内部结构的差异，所以即使是相同合金成分的靶材也会存在溅射速率的差异。
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提起膜，大多数人的反应都是给手机屏幕贴的膜吧，其实，生活中的很多常用物品的表面都是有膜的，能够起到很好的保护作用，比如鼠标的外壳在制作完成之后，是需要进行镀膜的。这种膜不是像手机膜那种常规意义上的膜，而是一种建立在基板层面上的膜。所以这种膜是需要的仪器才能够做到的。
这种设备叫作磁控溅射镀膜机，之所以称之为磁控溅射镀膜机是因为主要应用的是磁控溅射技术。这是一种通过涉及气态等离子体的沉淀技术，在镀膜时，将需要镀膜材料准备好，将等离子气体与需要镀膜的材料处于同一空间之中，利用高能离子将材料表面进行侵蚀，使得原子能够沉积在基板的表面上并形成薄膜。这样就完成了对于材料表面的“贴膜过程”。
这种磁控溅射镀膜技术可以说好处颇多。磁控溅射镀膜技术可以满足基本上所有的材料，同时还不限制材料的熔化温度，无论是金属、塑料还是合金等等，都可以实现贴膜。而且在操作时是可以根据基材和涂层进行调整的，并且可以安置于腔室内的任何位置。即使是以沉积合金或者是化合物的薄膜，就可以基本保持原始材料的相似效果。
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磁控溅射镀膜可以应用在很多方面，在具体是使用过程中需要注意一些问题。首先就是电压与功率，这会之间影响到整个镀膜的效果，一般来说，提高电压能够做到提高离化率。也就是说在高压的作用下会有更多的溅射原子沉积到物体的表面，也就是说能够调整沉积刀物品表面的量。
正是因为磁控溅射镀膜机在工作状态之中应处于真空环境，并对于气体和压强进行控制，所以这两个变量对于整个镀膜的过程也是有极大的影响的。所以首先要保证运行过程中其中的空气是高纯度的，光电器件真空镀膜外协，当然在追求溅射效果的时候，可以适当加入惰性气体可以提高溅射率，可以据此掌握溅射的效果。
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