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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点：(1) 设备费用高；(2) 对颗粒物或沉积物敏感；(3) 噪音与振动；(4) 破碎问题；(5) 暴露大气易引起事故
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