3D防撞半固态激光雷达厂家-北醒光子科技有限公司

MEMS激光雷达

二维扫描的MEMS微振镜是激光雷达的关键器件，主要可以通过电热效应、静电效应、电磁效应和压电效应驱动。有研究小组通过对电热双压电晶片驱动的微振镜加热，江苏3D防撞半固态激光雷达，金属铝的形变大于介质硅，从而形成微结构的振动。实验可以施加电压2.3V，获得9°的偏转角。但是电热效应引起微振镜偏转通常响应速度较低，有实验通过施加12mW的电功率，响应速度只有74Hz。电磁效应驱动的MEMS系统需要在内部封装可动磁性物质或者可动线圈产生磁场，如图3所示，通过施加磁场形成洛伦兹力使得线圈产生偏转，从而驱动MEMS振镜偏转，响应速度可以超过10kHz。压电效应需要异质材料的介入，压电材料（PZT）具有、响应速度快等优点。日本研究小组采用电镀的方法在硅上沉积PZT薄膜，加工形成MEMS结构并进行光学扫描，实验获得11.2kHz的响应速度，39°的视场角。静电效应驱动MEMS具有尺寸小、可单片全集成的优点，3D防撞半固态激光雷达哪家好，受到广泛研究。通常，采用静电效应驱动微反射镜的方式需要在真空环境下，以获得更高的驱动效率，10V电压驱动可以实现大约10°的扫描角度。瑞典KTH的研究小组近期验证了一种新方法，如图4所示，通过MEMS改变光栅周期实现衍射光角度偏转，在20V电压驱动下达到5.6°的扫描角度，功率消耗在微瓦量级。

固态激光雷达的优劣

①其结构简单，尺寸小，无需旋转部件，3D防撞半固态激光雷达厂家，在结构和尺寸上可以大大压缩，提高使用寿命并使其成本降低。

②扫描精度高，光学相控阵的扫描精度取决于控制电信号的精度，可以达到千分之一度量级以上。

③可控性好，3D防撞半固态激光雷达厂家，在允许的角度范围内可以做到任意指向，可以在***区域进行高密度的扫描。

④扫描速度快，光学相控阵的扫描速度取决于所用材料的电子学特性，一般都可以达到 MHz 量级。

MEMS激光雷达

微机电系统（MEMS）可达到一定的集成化要求，引起了人们的广泛关注。如图2所示，目前已逐渐商用的MEMS激光雷达是采用微振镜结构进行激光束偏转，微振镜需要具有平整的光学镜面，将机械式激光雷达的旋转部件微缩，增加集成度。

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