纳米位移系统通常由三部分组成：位移台、驱动电机、控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、加减速度、信号处理、使用功能( 如扫描、圆弧插补) 等性能参数，随着电机控制技术的提升，除了电移台机械部件以外，电机和控制器也从很大程度上影响电移台的振动、噪音及电移台的***精度。而位移台作为整个位移系统的***，系统的主要技术指标如：位移精度、行程、直线度、负载、稳定性、适应环境、外形尺寸等均由其决定。
精密xy位移平台系统的硬件构成 本文以液压试验台作为测试平台，由液压动力源和电气控制系统组成。其液压动力由动力油泵和动力装置油马达组成。将虚拟仪器与液压实验台相连接，选择好工况、测点，安装好位移传感器，并调试处理好后便可开始采集数据。对液压试验台齿轮泵的轴向位移进行测试。
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换装不同的运动转换形式，可以实现高速运动.在很多应用场合，需要提高平移台的运动速度.在这样的情况下，电移台通常会出现这样的形式.驱动为高速伺服电机，电动角位台定制价格，传动为大螺距丝杠，或者齿轮齿条传动.齿形带等.这样在不牺牲精度和平稳性的前提下，提高了运动的速度.组合使用时，可以使其上安装的工具到达三维空间上的任意点.通过直线插补控制，能够实现复杂运动轨迹. 由两个电动平移台组成的十字滑台.这种滑台在机床上应用非常普遍.当工件固定于其上时，通过控制电机的实现插补运动.可以让工件的平面运动轨迹变的复杂多变.另外可以使工件地到达两维空间上的任意一点.
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