荔湾区爱发科真空泵清洁***来电洽谈

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典型涡轮分子泵抽气系统涡轮分子泵抽气系统一般不需要用常见的液氮冷阱来阻止轴承润滑油或机械泵泵液的返流只要泵是以额定角速度旋转，那么泵对除很轻的气体氢以外的所有气体都具有比较高的压缩比，足以阻止这些气体从前级管道端返流到高真空端液氮冷却的表面不能捕集因压缩比低而返流到真空室的少量的氢液氮冷阱可用来提高系统对水蒸气的抽速，

其很好的安装位置是在高真空阀的后面，也就是直接设置在涡轮分子泵的喉部上方还可以考虑在高真空阀后面装一个三通管，把涡轮分子泵接在它的一个接口上，而把液氮冷却的表面接在另一个接口上而三通的任何两个接口之间的流导都要小于液氮冷阱的通导然而要使分子泵对水蒸气和空气都具有很大抽速，很佳的安排还是将液氮冷阱安装在涡轮分子泵和高真空阀门之间。

涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱粗抽与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去，而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道通过泵反扩散到真空室中去。

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分流式分子泵应用于氦质检漏仪

涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致严重沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵SplitFlow***机械和真空结构设计，广泛应用于国内，国际

爱发科氦质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商，选用德国SplitFlow80分子泵集成于氦质谱检漏仪中.

分流式涡轮分子泵SplitFlow优点

紧凑设计，占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和极高压缩比

集成分子泵控制器

防护类型IP54适合于工业用途

准S2和UL/CSA认证

运行数据监控保证分子泵运行安全性

涡轮分子泵应用于超高真空互联装置涡轮分子泵应用于超高真空互联装置

超高真空互联系统一般是通过RDC传样装置将不同的超高真空腔体连接起来，例如:快速进样室，样品生长腔，衬底制备腔，电子结构分析腔等，传样过程中保证超高真空量级的真空增量，超高真空互联系统很多可以连接8个腔体左右，爱发科真空泵清洁***，极限真空好于1E-10mbar！

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高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧

在控温方面，涡轮分子泵配备集成传感器，集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能，保障其很高运行安全性。在轴承方面，的复合轴承由两部分组成：前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承，而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。

泵运转时震动和噪音大

1.转子动平衡不好；

重新进行转子动平衡；

2.轴承润滑不好或轴承损坏；

检查并修复油路，或更换轴承；

3.前级压力过高；

降低前级压力；

4.泵安放位置不正确。

按照使用说明书正确安装。

涡轮分子泵系统常见故障及排除

故障

原 因

排除方法

极限真空度低

1.前级泵不匹配，抽气量不足；

重新选配合适的前级泵；

2.系统漏气；

查出并消除漏处；

3.泵体出气。

对泵体进行烘烤除气，烘烤温度不应高于150℃。

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