RCA清洗法：依靠溶剂、酸、表面活性剂和水，在不***晶圆表面特征的情况下通过喷射、净化、氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。在每次使用***后都要在超纯水（UPW）中清洗。以下是常用清洗液及作用。
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按照清洗机精度的要求不同，主要分为一样平常财打造清洗机，周详财打造清洗机与超周详财打造清洗机三大类。
在常日保存中，半导体湿法腐蚀设备，与个地利家庭保存密切关系的洗涤，包罗衣物清洗机，半导体清洗机，***皮肤，头发清洗机，家庭用品，房屋的清洗机等，通常称为民用清洗机。
打造清洗机包罗各种打造品加工生打造过程当中的清洗机，各种质料及装备外表的清洗机等，以大要去除细微的污垢粒子为特性；
按照清洗机序言的不同，又概略分为湿式清洗机与干式清洗机：一样平常将在液体介质中发展的清洗机称为湿式清洗机，在气体介质中发展的清洗机称为干式清洗机．保守的清洗机门径大多为湿式清洗机，而人们比较容易明确的干式清洗机也即是吸尘器．但迩来几年来，干式清洗机发展麻利．如激光清?洗．紫内线清洗机，等离子清洗机、干冰清洗机等，在高。精，尖财打造手艺范畴得到快速发展．
超周详清洗机包罗周详财发作打造过程当中对机械整机、电子元件，半导体酸洗机，光学部件等的超周详清洗机，以革除极细微污垢颗粒为目的。
一样平常财打造清洗机包罗车辆，轮船、飞机外表的清洗机，一样平常只能去掉比较轻微的污垢；
