净化技术的设备发展
美国在台湾的T***CS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的***中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。
GMP净化工程主要需要注意的方面有以下几点：
(3)设备
工厂的所有设备和用具的设计，采用的材料和制作工艺，应便于充分的清洗和适当的维护。这些设备和用具的设计、制造和使用，应能防止食品中掺杂污染源。接触食物的表面应耐腐蚀，它们应采用无1毒1的材料制成，净化，能经受侵蚀作用。接触食物的表面的接缝应平滑，而且维护得当，净化室工程，能尽量减少食物颗粒、脏物及有机物的堆积，从而将微生物生长繁殖的机会降低到限度。食品加工、处理区域内不与食品接触的设备应结构合理，便于保持清洁卫生。食品的存放、输送和加工系统的设计结构应能使其保持良好的卫生状态。
移动式层流小车
①主体框架采用304不锈钢，工作区三面PC板一面可开启门，美观整洁，易于清洁消毒;
②采用可调风量的风机系统，通过调节风机的工况，保证洁净工作区的风速在额定范围内;
③气流流形为垂直流，***室净化工程，空气自上而下，在工作区与PC板之间形成空气保护，并与外部形成正压差，车间净化工程，保证工作区的洁净度。
④设有报警系统，风机非正常状态停机，将自动报警。
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