拉奇纳米(图)-化学气相沉积设备报价-化学气相沉积设备

真空镀膜机如何选型选用真空泵时，需要注意下列事项：

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

如:真空镀膜机要求1x10-5mmHg的真空度， 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空镀膜机对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

真空镀膜机日常维护***

1、每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法：用（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意***皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，多功能化学气相沉积设备，再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。

2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。

方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，化学气相沉积设备，用布擦干净箱内污垢。

真空镀膜机的操作注意事项

4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固，角部有无弯曲翘曲等变形情况；

5、检查水压、气压是否正常；水、油、气是否有漏滴现象；

6、设备中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行；

7、设备中途停气时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，化学气相沉积设备报价，让维持泵继续运行； 

8、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；

9、扩散泵加热时，避免身体接触扩散泵加热炉、以免；

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